2020年11月11日，東方晶源獲得戰(zhàn)略投資，金額未透露，投資方為亦莊國(guó)投。

　　東方晶源微電子科技（北京）有限公司是由中國(guó)東方集團(tuán)與國(guó)際化技術(shù)和管理團(tuán)隊(duì)創(chuàng)立的先進(jìn)半導(dǎo)體關(guān)聯(lián)高科技公司?？偛吭O(shè)于北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)亦莊。公司致力于提供極大規(guī)模半導(dǎo)體產(chǎn)品設(shè)計(jì)和制造中制程問(wèn)題的解決方案與相關(guān)設(shè)備。
　
　　東方晶源的服務(wù)對(duì)象是世界尖端的極大規(guī)模半導(dǎo)體設(shè)計(jì)、制造和裝備企業(yè)。公司在海外擁有合作和伙伴企業(yè)，協(xié)同合作開(kāi)發(fā)新的解決方案和設(shè)備。

　　東方晶源的主要業(yè)務(wù)方向之一為應(yīng)用于晶圓制造在線(xiàn)檢測(cè)的高速、高精度電子束圖像系統(tǒng)。通過(guò)高速而精準(zhǔn)的電子束控制及檢測(cè)，結(jié)合本公司獨(dú)有的自動(dòng)化在線(xiàn)專(zhuān)家系統(tǒng)，將大大助益于半導(dǎo)體制造業(yè)的自動(dòng)化與制程優(yōu)化，顯著提高整體生產(chǎn)效率。